화학물질 중앙공급 설비 및 SYSTEM
DRUM-TYPE SUPPLY SYSTEM
DRUM-TYPE SUPPLY SYSTEM
SLURRY SUPPLY SYSTEM
HF SUPPLY SYSTEM반도체 및 LCD, TSP 제조 공정상에 필요한 Chemical 을 별도의 Sub. Unit 을 이용하여 공급을 할 수있는 장치로 고객의 요구에 따라 원액 및 Mixing Ratio 에 따른 대응도 가능 하도록 구성한 System
반도체 제조 공정상에 필요한 DIW를 고압으로 각각의 Unit에 공급이 가능하도록 별도의 system(HPDS) 을 이용하여 DIW를 공급 할 수 있는 장치로 고객의 요구에 따라 유량 및 압력을 제어기 자동으로 되도록 설계
